調質熱處理即是將工件進行淬火後接著高溫回火之熱處理技術， 而使用輸送帶型式之連續式淬火與回火爐設備， 對於螺絲、螺帽類型之小型工件可以施以大量且高效之連續熱處理加工。

連續式光輝熱處理之工件材質多為不銹鋼， 於加熱至高溫並持溫熱處理過程中通以由氨氣分解出之氮與氫作為保護用， 氮除了可以保護工件外，氮原子還可擴散進入鋼材，硬化工件表面； 而氫則可以對工件表面造成還原反應，而讓完工後之工件表面潔淨、光亮。

不銹鏽工件除了表面硬化的光輝熱處理外，光輝爐還可以進行退火熱處理。 接續光輝熱處理流程後，對工件施行低溫回火，則可以防止工件的氫脆。

氨氣(NH₃)，在高溫下與鋼材表面接觸時，會產生以下之分解反應：NH₃⇄N+3H

由上式所分解出來的氮原子便可擴散進入鋼材，發揮氮化作用； 此外，分解出之氫則可以對工件表面造成還原反應，而讓完工後之工件表面潔淨、光亮。

真空氣體氮化是使用真空爐設備，用於取代傳統坑式爐導入氨氣來氮化的方式。 其基本作業流程是透過先抽取爐內空氣達到一定真空度後， 再導入氨氣與氮氣(或氫氣)循環，以進行氮化處理。 要導入氮氣或氫氣是為了要藉以調整氨氣的濃度來控制氮化結構。 由於真空爐之密閉特性，可以高效保溫，不易浪費能量， 被處理工件表面亦可以保有高品質之潔淨度， 更是其優點之一， 而於氮化流程完成後，也可以透過導入冷空氣至爐內予以快速冷卻。

隨著真空技術及其設備之進步，真空熱處理已經逐漸被廣為使用。 真空技術顧名思義就是在工件處理之時，將真空爐內抽至真空，視所使用之技術不同，真空度亦有所差異。 在真空環境下，工件的處理便不易受到其他氣體之污染。

一般而言，真空熱處理技術大致有以下幾項優點：

• 穩固的加熱溫度範圍(1100~1500ºC)
• 溫度在小空間容易控制
• 加工中的工件可以降低碳、氧及其他氣體的污染
• 工件可以快速冷卻(淬火效果)

Vaccum furnace from Wikipedia